龙门工业显微检测
谱华森生物科技LMM龙门显微检测设备，专门针对大尺寸晶圆、PCB板、工业板材等材料表面微观缺陷设计的大型龙门结构三维扫描装置，具备大范围对焦跟踪扫描、落射/透射偏光成像等功能，采用龙门双驱结构实现高精度扫描，支持超大图像拼接预览。
产品特性：
| 项目 | 参数 |
| 行程(mm) | 最大支持500mm |
| 电机类型 | 伺服/直线电机 |
| 重复定位精度(μm) | ±1 |
| 最大速度(mm/s) | 50 |
| 物镜个数 | 5个，最高支持50倍物镜 |
| 扫描速度 | 最快支持70帧/秒 |
| 图像处理 | 支持超大图像拼接，快速预览 |
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